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普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材:半导体材料(第3版) | |||
普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材:半导体材料(第3版) |
出版日期: 2013年2月1日
《普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材:半导体材料(第3版)》是为大学本科与半导体相关的专业编写的教材,介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺,以及特性的控制等。全书共13章:第1章为硅和锗的化学制备;第2章为区熔提纯;第3章为晶体生长;第4章为硅、锗晶体中的杂质和缺陷;第5章为硅外延生长;第6章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体;第7章为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的外延生长;第8章为Ⅲ-Ⅴ族多元化合物半导体;第9章为Ⅱ-Ⅳ族化合物半导体;第10章为低维结构半导体材料;第11章为氧化物半导体材料;第12章为照明半导体材料;第13章为其他半导体材料。
《普通高等教育电子科学与技术类特色专业系列规划教材:半导体材料(第3版)》也可以作为从事与半导体相关研究工作的科研人员和相关专业研究生的参考书。
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半导体材料(第2版)
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